JoVE Journal
Chemistry
Chemistry
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
Summary
Please note that all translations are automatically generated.
Dette arbejde beskriver procedurerne for vækst og karakterisering af krystallinsk SrTiO 3 direkte på germanium substrater af atomare lag deposition. Proceduren illustrerer evne en all-kemisk metode vækst at integrere oxider monolitisk på halvledere til metal-oxid halvleder-enheder.