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犠牲成分の蒸発を用いた三次元微細構造を作る過程
Optimized Sealing Process and Real-Time Monitoring of Glass-to-Metal Seal Structures
Journal (Engineering)
Optimized Sealing Process and Real-Time Monitoring of Glass-to-Metal Seal Structures
All-electronic Nanosecond-resolved Scanning Tunneling Microscopy: Facilitating the Investigation of Single Dopant Charge Dynamics
Journal (Engineering)
All-electronic Nanosecond-resolved Scanning Tunneling Microscopy: Facilitating the Investigation of Single Dopant Charge Dynamics
 
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犠牲成分の蒸発を用いた三次元微細構造を作る過程

Article DOI: 10.3791/50459-v • 08:31 min • November 2nd, 2013
November 2nd, 2013 •
1, 2, 2
1Department of Physics, University of California, Irvine, 2Department of Chemistry, University of California, Irvine

Chapters

Summary
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犠牲成分（VASC）工程の気化を微小構造を作製するために使用される。この手順では、レーザーマイクロマシンガイドプレートが提供する正確な3D幾何学的なポジショニングと中空マイクロチャネルを形成するために犠牲（乳酸）、ポリ乳酸繊維を使用しています。

Tags

物理学、発行81、医用生体工学、化学工学、シリコーンエラストマー、微小電気機械システム、バイオミメティック材料、化学処理（一般）、材料（一般的）、熱交換器（航空宇宙アプリケーション）、物質移動、大規模な微細加工、高表面地域構造、3次元マイクロ交換デバイス、バイオミメティクス
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