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AFMによる半導体ウェーハトポグラフィーイメージングのための装置のキャリブレーション、実験セットアップ、およびパラメータ調整

Testing of Nanoparticle Release from a Composite Containing Nanomaterial Using a Chamber System

Journal (Engineering)

Testing of Nanoparticle Release from a Composite Containing Nanomaterial Using a Chamber System

Scalable Nanohelices for Predictive Studies and Enhanced 3D Visualization

Journal (Engineering)

Scalable Nanohelices for Predictive Studies and Enhanced 3D Visualization

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AFMによる半導体ウェーハトポグラフィーイメージングのための装置のキャリブレーション、実験セットアップ、およびパラメータ調整

Parallel Active Cantilever Arrays in AFMS to Enable High-Throughput Inspections

Article DOI: 10.3791/200439-v • 03:41 min • June 13th, 2023

June 13th, 2023 •

Fangzhou Xia¹, Kamal Youcef-Toumi¹, Thomas Sattel², Eberhard Manske³, Ivo W. Rangelow^4,5

¹Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, ²Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering, Ilmenau University of Technology, ³Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau University of Technology, ⁴Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau University of Technology, ⁵nano analytik GmbH

Tags

アクティブプローブ原子間力顕微鏡、クワトロパラレルカンチレバーアレイ、ハイスループット、大規模試料検査、原子間力顕微鏡、ナノスケール表面研究、3次元トポグラフィー画像、イメージングスループット、高速AFMシステム、ダイナミックプロセスビデオ、化学・生物学的反応、半導体ウェーハ、ナノ加工構造、ナノスケール空間分解能イメージング、静的試料、高生産性、パッシブカンチレバープローブ、光ビーム偏向システム、イメージングスループット、アクティブカンチレバー、組み込みピエゾ抵抗センサ、熱機械アクチュエータ、並列運転、イメージングスループット、大型ナノポジショナ、制御アルゴリズム、データ駆動型後処理アルゴリズム

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