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साधन अंशांकन, प्रायोगिक सेटअप, और AFM के साथ सेमीकंडक्टर वेफर स्थलाकृति इमेजिंग के लिए पैरामीटर ट्यूनिंग
Fabrication of a Low-Cost, Fiber-Coupled, and Air-Spaced Fabry-Pérot Etalon (Video) | JoVE
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Fabrication of a Low-Cost, Fiber-Coupled, and Air-Spaced Fabry-Pérot Etalon (Video) | JoVE
Prescribed 3-D Direct Writing of Suspended Micron/Sub-micron Scale Fiber Structures via a Robotic Dispensing System
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Prescribed 3-D Direct Writing of Suspended Micron/Sub-micron Scale Fiber Structures via a Robotic Dispensing System
 
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साधन अंशांकन, प्रायोगिक सेटअप, और AFM के साथ सेमीकंडक्टर वेफर स्थलाकृति इमेजिंग के लिए पैरामीटर ट्यूनिंग

Parallel Active Cantilever Arrays in AFMS to Enable High-Throughput Inspections

Article DOI: 10.3791/200439-v • 03:41 min • June 13th, 2023
June 13th, 2023 •
1, 1, 2, 3, 4,5
1Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 2Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering, Ilmenau University of Technology, 3Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau University of Technology, 4Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau University of Technology, 5nano analytik GmbH

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